28nm DUV量产,EUV原型机就位,佬们怎么看?EUV能量产么?
“ 国产DUV光刻机预计年内交付给中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等国内主要芯片制造商”网易新闻 (https://www.163.com/dy/article/L2TR4DS50556IIQK.html)“ 據《The Information》 (https://www.theinformation.com/articles/china-starts-mass-producing-homegrown-duv-chipmaking-tools-advance-local-chip-industry)引述兩名知情人士報道,上海一家國有企業已開始量產浸沒式深紫外(DUV)光刻機,並計劃今年向中芯國際、華虹半導體及記憶體製造商長鑫存儲交付首批設備。該企業目標在 2026 年生產約 5 台,2027 年約 20 台;上述三家客戶均為美國一項法案擬禁止 ASML 對其銷售及維修的企業。”雅虎新闻 (https://hk.news.yahoo.com/%E5%82%B3%E4%B8%AD%E5%9C%8B-28-%E7%B4%8D%E7%B1%B3-duv-%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F%E9%82%81%E5%90%91%E9%87%8F%E7%94%A2-230341336.html)
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